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AZ管式炉有8个控温区，在整个加热长度内获得所需的温度。
有8个控温区，保温材料厚实，加热元件对称分布，使得温度均匀性能优于±5°C。其主要优点是有8个独立的控温区，使得均温区可以延长。另外，控温能十分精确，可实现线性升温、峰值或其他温度场。AZ管式炉的典型应用是化学气相沉积。化学气相沉积需要有温度梯度，物质在温度较高的一端气化并在温度较低的一端冷却沉积在一片基底层上。所有的控温区都由各个热电偶独立控温和监测温度。
应用实例
退火、晶体生长、干燥、蒸发、升华、合成
标准参数
结构同FHA / FHC管式炉
8区控温，满足不同温度场的需求
在加热区间内能形成温度梯度，线性升温 / 降温
扩大均温区长度
快速升温和冷却
全自动运行
数据记录，用于质量管理
设定值中继控温方式
选项(订购时详细标注要求)
提供一系列精密的数字控制器，多段编程和数据记录仪，这些可以配备RS232，RS485或以太网通讯接口。
过温保护
各种尺寸和材质的工作管可选，如石英、陶瓷、金属
L型支架，垂直使用
隔热保温塞和防辐射屏蔽塞防止热量损失提高温度均匀性
可控气氛及真空组件
真空系统可选机械泵或涡轮分子泵，工作管内径60mm及以上
根据要求可选西门子SPS控制器，触摸屏，质量流量计
其他规格的工作管和加热长度，请向我们咨询
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型号 |
最高 温度 （℃） |
外部尺寸 H×W×D* (mm) |
工作管 直径 （mm） |
加热 长度 (mm) |
重量** （kg） |
最大 功率 （W） |
电压 （V） |
电流 （A） |
保险丝 （A） |
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AZ13/32/360 |
1350 |
990×1800×500 |
32 |
360 |
500 |
1500 |
400 (3P) |
3×4 |
3×16 |
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AZ13/50/430 |
1350 |
990×1800×500 |
50 |
430 |
550 |
2900 |
400 (3P) |
3×9 |
3×16 |
|
AZ13/80/810 |
1350 |
990×1800×500 |
80 |
810 |
600 |
7300 |
400 (3P) |
3×12 |
3×16 |
|
AZ13/110/1000 |
1350 |
1200×1800×520 |
110 |
1000 |
650 |
11300 |
400 (3P) |
3×19 |
3×25 |
※最高连续使用温度应低于最高温度100℃
※*小型管式炉采用单独的控制柜
※**最大重量包括真空泵
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